Elaboration et caractérisation des couches mince hydrophobes par le procédé sol-gel type spin coating-application dans le domaine microélectronique

Abstract

Dans cette étude, les propriétés adhésives des surfaces du film d'oxyde de zinc sol-gel (ZnO) avec différentes températures de recuit de 350 à 550 °C ont été étudiées. L'hydrophobicité de ces surfaces de film d'oxyde a été étudiée par des mesures d'angle de contact. L'énergie de surface des films de (ZnO) a été calculée à partir des données d'angle de contact en utilisant la méthode de la moyenne harmonique. Les échantillons ont été caractérisés par diffraction des rayons X (XRD), microscope électronique à balayage (SEM) et infrarouge à transformée de Fourier (FT-IR). L'augmentation de la température de recuit induit une réduction des propriétés hydrophiles des films (propriétés adhésives). L'analyse par spectroscopie FTIR a révélé que la diminution des groupes polaires (hydroxyles) conduit à une amélioration des propriétés hydrophiles de surface. Les images MEB montrent que l'augmentation de la température de recuit induit une augmentation de la rugosité de surface de (ZnO) qui diminue encore l'angle de contact des gouttelettes d'eau sur la surface. La caractérisation structurale par XRD révèle que les films ainsi préparés étaient en phase ténorite et ont un haut niveau de pureté et de cristallinité.