ETUDE THEORIQUE DE LA FORMATION DES GAINES ELECTROSTATIQUES DANS UN PLASMA FROID

Abstract

Dans ce sujet de mémoire de master, nous nous étudions, la formation des gaines électrostatiques dans un plasma froid ce sujet et très important dans la mesure où nous pouvons utiliser ses résultats pour résoudre le problème des impuretés rencontre dans le domaine de l’interaction d’un plasma avec la surface solide Dans ce travail, nous nous sommes intéressés à la modélisation et la simulation de la formation des gaines électrostatiques dans un plasma électropositif  Ar . Par conséquent, l’effet de la variation des densités et des vitesses des espèces (ions, électrons) sur l’épaisseur de la gaine. De plus la maitrise de la dynamique des impuretés permet d’améliorer la qualité de dépôt des couches minces dans le domaine de la technologie.